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奧普光電:公司子公司禹衡光學(xué)光柵尺精度與海德漢對(duì)標(biāo),理論上可以應(yīng)用到芯片制造和封裝的測(cè)量輔助系統(tǒng)

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2022-08-30 13:54:06

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:請(qǐng)問公司的光柵尺精度能達(dá)到多少,理論上能應(yīng)用到芯片制造和封裝的測(cè)量輔助系統(tǒng)嗎?

奧普光電(002338.SZ)8月30日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司子公司禹衡光學(xué)光柵尺精度與海德漢對(duì)標(biāo),指標(biāo)為±3μm/m等級(jí),實(shí)際可達(dá)到±2μm/m以內(nèi),理論上可以應(yīng)用到芯片制造和封裝的測(cè)量輔助系統(tǒng)。

(記者 曾健輝)

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