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大族激光:公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率為2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應用

每日經(jīng)濟新聞 2022-11-03 17:37:47

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司自主研發(fā)國產(chǎn)光刻機幾納米制程?

大族激光(002008.SZ)11月3日在投資者互動平臺表示,公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率為2-3 μm,主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應用。

(記者 畢陸名)

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