每經(jīng)AI快訊， 芯源微在接受調(diào)研時表示，此前公司首臺浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)順利運(yùn)付客戶現(xiàn)場，并完成了各項工藝驗(yàn)證及光刻機(jī)聯(lián)機(jī)產(chǎn)能驗(yàn)證。機(jī)臺與國際主流光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè)，完成了客戶端十余款光阻、多層layer量產(chǎn)驗(yàn)證，數(shù)據(jù)均達(dá)到客戶量產(chǎn)指標(biāo)。浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)的發(fā)布，標(biāo)志著公司在前道涂膠顯影領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了對28nm及以上所有工藝節(jié)點(diǎn)的全覆蓋，即可實(shí)現(xiàn)全面國產(chǎn)替代。