每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)簡(jiǎn)單介紹公司新產(chǎn)品電子級(jí)二氯二氫硅、電子級(jí)三氯氫硅、電子級(jí)四氯化硅在集成電路（芯片）的應(yīng)用？

三孚股份（603938.SH）3月8日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司產(chǎn)品電子級(jí)二氯二氫硅、電子級(jí)三氯氫硅和電子級(jí)四氯化硅，均為電子特氣。 電子級(jí)三氯氫硅主要應(yīng)用于硅外延片及碳化硅行業(yè)。 電子級(jí)二氯二氫硅主要應(yīng)用于邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片及硅基前驅(qū)體等領(lǐng)域。 電子級(jí)四氯化硅主要用于薄膜沉積與蝕刻工藝，隨著半導(dǎo)體制程的先進(jìn)化，電子級(jí)四氯化硅被廣泛使用于邏輯芯片與存儲(chǔ)芯片的蝕刻工藝流程。

(記者 王瀚黎)

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