每日經(jīng)濟新聞 2023-03-30 17:05:25
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：你好！請問公司哪些儀器設備可以用于芯片集成電路領(lǐng)域檢測？
鋼研納克（300797.SZ）3月30日在投資者互動平臺表示，公司的場發(fā)射掃描電鏡可用于芯片集成電路領(lǐng)域，如，光刻膠缺陷分析、硅片表面殘留等；電感耦合等離子體質(zhì)譜可用于高純靶材檢測、高純試劑分析等。
(記者 陳鵬程)
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