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鋼研納克:公司的場發(fā)射掃描電鏡可用于芯片集成電路領(lǐng)域

每日經(jīng)濟新聞 2023-03-30 17:05:25

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:你好!請問公司哪些儀器設備可以用于芯片集成電路領(lǐng)域檢測?

鋼研納克(300797.SZ)3月30日在投資者互動平臺表示,公司的場發(fā)射掃描電鏡可用于芯片集成電路領(lǐng)域,如,光刻膠缺陷分析、硅片表面殘留等;電感耦合等離子體質(zhì)譜可用于高純靶材檢測、高純試劑分析等。

(記者 陳鵬程)

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