每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：公司14-28 nm先進(jìn)制程用的高端Arf-immersion光刻膠進(jìn)展如何，是否有送樣，什么時(shí)候量產(chǎn)？

南大光電（300346.SZ）4月21日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司正在認(rèn)證的ArF光刻膠主要集中在90nm~28nm工藝節(jié)點(diǎn)，目前有多款產(chǎn)品正在下游客戶處驗(yàn)證。規(guī)模量產(chǎn)時(shí)間需要根據(jù)客戶訂單情況確定。

(記者 王可然)

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