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中船特氣:公司生產(chǎn)的混合氣主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和顯示面板制造過程中的光刻、退火等多個(gè)工藝

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-07-14 16:29:43

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:請(qǐng)問公司電子特種氣體可用于光刻領(lǐng)域么?

中船特氣(688146.SH)7月14日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,公司生產(chǎn)的混合氣主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和顯示面板制造過程中的光刻、退火等多個(gè)工藝?;谧陨碚莆盏募兓突炫浼夹g(shù),公司混合氣產(chǎn)品組分純度可達(dá)6N,目前已實(shí)現(xiàn)30余種電子混合氣的量產(chǎn)供應(yīng)。

(記者 王可然)

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