每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問，公司是否取得一種光刻機運動軌跡規(guī)劃方法的專利？

固高科技（301510.SZ）9月5日在投資者互動平臺表示，半導體相關(guān)設備一直是公司技術(shù)、產(chǎn)品的一個重點應用領(lǐng)域。公司在2014年曾因控制類技術(shù)、產(chǎn)品在半導體后封裝相關(guān)設備領(lǐng)域的應用與對行業(yè)的貢獻獲得國家科技進步二等獎。 半導體前道設備所需的控制、伺服驅(qū)動與系統(tǒng)相關(guān)的技術(shù)、產(chǎn)品，公司也一直在持續(xù)研究、迭代與應用部署；公司于23年上半年有獲批一項關(guān)于半導體設備運動軌跡規(guī)劃的專利《光刻機運動軌跡規(guī)劃方法、裝置、計算機設備和存儲介質(zhì)》。

(記者 王可然)

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