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奧普光電:據(jù)我們所知,目前世界范圍內(nèi)封閉式絕對(duì)光柵尺的系統(tǒng)精度還在“μm/m"量級(jí)

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-19 14:15:41

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:老師,貴司曾回答貴司的光柵尺打破壟斷,在國內(nèi)形成了不可替代,為什么蘇大維格的光柵尺精度小于1nm,貴司還在2.5nm呢?貴司不是第一嗎?

奧普光電(002338.SZ)9月19日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,據(jù)我們所知,目前世界范圍內(nèi)封閉式絕對(duì)光柵尺的系統(tǒng)精度還在“μm/m"量級(jí)。比如德國海德漢的封閉式絕對(duì)光柵尺標(biāo)稱精度是±3μm/m, 禹衡光學(xué)同類產(chǎn)品的批產(chǎn)精度為±3μm/m,最高精度可達(dá)±1μm/m。2.5nm指光柵尺的測量步距,也稱分辨率,而非精度。

(記者 蔡鼎)

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