每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司元泰智能（839156）新增專利信息，專利權(quán)人為元泰智能，發(fā)明人是賀競(jìng)?cè)?、朱俊杰、杜王杰。專利授?quán)日為2024年2月23日，專利名稱為“一種晶圓取料機(jī)構(gòu)用密封驅(qū)動(dòng)裝置”，專利類型為中國實(shí)用新型專利，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202323584111.5。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型公開了一種晶圓取料機(jī)構(gòu)用密封驅(qū)動(dòng)裝置，其包括驅(qū)動(dòng)模組以及將所述驅(qū)動(dòng)模組包圍在內(nèi)的防護(hù)殼體；所述驅(qū)動(dòng)模組的活動(dòng)末端設(shè)置有活動(dòng)安裝板，所述防護(hù)殼體的側(cè)方設(shè)置有一條活動(dòng)通槽，所述活動(dòng)安裝板的一端伸入至所述防護(hù)殼體內(nèi)固定在所述驅(qū)動(dòng)模組的活動(dòng)末端且另一端延伸伸出所述活動(dòng)通槽，所述防護(hù)殼體內(nèi)設(shè)置有隨所述活動(dòng)安裝板隨動(dòng)的遮塵帶，所述遮塵帶遮擋在所述活動(dòng)通槽區(qū)域；所述防護(hù)殼體的底部設(shè)置有吸塵管，所述吸塵管連通吸塵裝置。本實(shí)用新型能夠有效的防止驅(qū)動(dòng)裝置內(nèi)部的機(jī)械結(jié)構(gòu)因?yàn)槟Σ炼a(chǎn)生的粉塵外溢到外部而污染晶圓，大大提高了密封效果。

(記者 曾健輝)

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