每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司立光電子（874135）新增專利信息，專利權(quán)人為立光電子，發(fā)明人是胡超川、傅強、朱磊、毛祖攀。專利授權(quán)日為2024年10月29日，專利名稱為“一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)”，專利類型為中國實用新型專利，專利申請?zhí)枮镃N202420568697.1。

該專利摘要顯示：本實用新型公開了一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括結(jié)構(gòu)主體，所述結(jié)構(gòu)主體包括工藝氣路，工藝氣路包括主氣管和多段輔助氣管分段調(diào)節(jié)，所述結(jié)構(gòu)主體還包括端頭護罩、上端支撐護罩、靶材卡箍護罩，本方案采用分段布氣，采用主氣管和多段輔助氣管分段調(diào)節(jié)，主氣管量程1000sccm，通入50?300sccm氬氣，50?300sccm氧氣，通過質(zhì)量流量計混合后進入真空箱體陰極靶位處，七段輔助氣管通入氬氣、氧氣有效改善均勻性，輔助氣管量程100sccm，通入0?50sccm氬氣、0?50sccm氧氣，依據(jù)測試均勻性結(jié)果分別調(diào)整通入氣體量，有效改善均勻性。

(記者 曾健輝)

免責聲明：本文內(nèi)容與數(shù)據(jù)僅供參考，不構(gòu)成投資建議，使用前核實。據(jù)此操作，風險自擔。