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北交所上市公司凱德石英新增專利信息授權(quán):“一種外延工藝用流道蓋板”

每日經(jīng)濟新聞 2024-11-14 22:49:01

每經(jīng)訊,據(jù)啟信寶,北交所上市公司凱德石英(835179)新增專利信息,專利權(quán)人為凱德石英,發(fā)明人是張忠恕、邊占寧、劉利、陳強、張連興、馮繼瑤、于洋、周潔、王志剛、趙曉亮、李翔星、盧亮。專利授權(quán)日為2024年11月12日,專利名稱為“一種外延工藝用流道蓋板”,專利類型為中國實用新型專利,專利申請?zhí)枮镃N202420625732.9。

該專利摘要顯示:本申請涉及氣相成膜技術(shù)的領(lǐng)域,提供一種外延工藝用流道蓋板,其包括成膜板和加強板,所述加強板平行于所述成膜板設置,且所述加強板位于所述成膜板的上方,所述成膜板的左右兩側(cè)均連接有支撐側(cè)板;所述支撐側(cè)板的一側(cè)用于與對象結(jié)構(gòu)抵接,另一側(cè)與所述加強板連接。本申請具有在確保蓋板本身不至于承受過大壓力的同時,兼顧單晶薄膜的成膜效率的效果。

(記者 曾健輝)

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