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晶瑞電材:公司子公司瑞紅(蘇州)電子化學(xué)品股份有限公司共擁有以5臺光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測試平臺

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-03-13 16:22:09

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好,請問krf光刻膠是否已經(jīng)進(jìn)入了量產(chǎn),客戶通過驗(yàn)證了沒有?另外,arf光刻機(jī)是否21年就已經(jīng)購入?目前研發(fā)進(jìn)展如何?有沒有缺陷檢測儀等相關(guān)設(shè)備?今年arf是否可以投入認(rèn)證?

晶瑞電材(300655.SZ)3月13日在投資者互動平臺表示,公司子公司瑞紅(蘇州)電子化學(xué)品股份有限公司共擁有以5臺光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測試平臺,覆蓋紫外寬譜、g線、i線、KrF及ArF光刻膠檢測,可為公司產(chǎn)品研發(fā)測試、客戶驗(yàn)證等提供全面的核心設(shè)備保障。公司KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn);ArF高端光刻膠研發(fā)工作已啟動。關(guān)于公司產(chǎn)品研發(fā)和客戶認(rèn)證進(jìn)展,請關(guān)注公司定期報(bào)告等公告。

(記者 陳鵬程)

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